| 詳細參數(shù) |
|---|
原產(chǎn)國/地區(qū)：日本
,是否進口：是
,加工定制：否
,類型：氣體檢漏儀
,品牌：日本新宇宙cosmos
,型號：XP-703DIII
型 號
XP-703D
檢測對象氣體
半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以內(nèi)
