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產(chǎn)品簡介
KOFLOC 5100系列半導(dǎo)體工藝質(zhì)量流量控制器 KOFLOC金屬密封流量控制器
產(chǎn)品價格：￥9980.00元/臺
上架日期：2022-06-16
發(fā)貨地：北京 朝陽區(qū)
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺
瀏覽量：831
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌KOFLOC型號5100
    原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
    工作壓力300kPa（G）以下適用介質(zhì)氣體
    工作溫度0~50℃測量范圍2~100,（F.S.）
    精度等級,1,F.S測量精度,1,F.S
    安裝形式參照說明書加工定制是
    外形尺寸是重量約1000g
    產(chǎn)地Tokyo

    KOFLOC 5100系列半導(dǎo)體工藝質(zhì)量流量控制器 KOFLOC金屬密封流量控制器，它實(shí)現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的±1％精度。
    板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

    • 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實(shí)現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)
    • 采用電磁鐵電磁閥常閉閥
    • 由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
    • 采用隔膜閥，減少死體積
    • 面對面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容

    標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 KOFLOC 5100系列半導(dǎo)體工藝質(zhì)量流量控制器 KOFLOC金屬密封流量控制器

    流量范圍
    （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）     		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
    傳感器方式 熱繞組傳感器
    閥門方式 比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉）
    控制范圍 2~100％（F.S.）
    響應(yīng)速度 1秒內(nèi)（±2％F.S.內(nèi)）
    準(zhǔn)確性 ±1％F.S.
    溫度系數(shù) 0.1％F.S./°C（15~35°C）
    再現(xiàn)性 ±0.2%F.S.
    操作壓差范圍 F.S.≤5SLM50. 300kPa
    F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
    選項(xiàng)：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
    可工作壓力 300kPa（G）以下
    耐壓 980kPa（G）
    He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
    允許周圍溫度 0~50℃
    允許環(huán)境濕度 10~90%RH（無結(jié)露）
    氣體接觸材料 車身SUS316L
    隔膜SUS316L
    閥座PTFE
    密封材料SUS316L，Ni，Au
    選項(xiàng)：SUS密封（SU），內(nèi)部磨削規(guī)格（KP）
    電氣連接 Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
    流量設(shè)定
    輸入信號     		0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上）
    流量輸出信號 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
    所需電源 +15 VDC（±5％）100 mA，
    -15 VDC（±5％）200 mA
    配件（車身尺寸） 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項(xiàng)1/4 SWL
    重量 約1000g

    警告

    流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
    另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
    有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

    接線連接

    Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)引腳排列

    尺寸圖 KOFLOC 5100系列半導(dǎo)體工藝質(zhì)量流量控制器 KOFLOC金屬密封流量控制器


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