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  性能的質量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。ALICAT MC-200SCCM-D質量流量控制器 美國ALICAT MC系列質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節(jié)功能，確保相關產品能快速實現穩(wěn)定控制。

  多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

  連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業(yè)網絡中。

  耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。

  ALICAT MC-200SCCM-D質量流量控制器 美國ALICAT MC系列質量流量控制器

  型號變體

  低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）

  高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）

  閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）

  配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）

  腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文

  ALICAT MC-200SCCM-D質量流量控制器 美國ALICAT MC系列質量流量控制器

  閥門選項

  您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

  MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程

  具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應用

  MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產品不適用）

  MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。

  MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

  腐蝕性氣體（MCS系列）

  MC系列氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質。

  結構選項

  通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）

  顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）

  工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）

  彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

  ALICAT MC-200SCCM-D質量流量控制器 美國ALICAT MC系列質量流量控制器

  性能選項

  流量累加器

  集成式電位計控制

  高精度或自定義校準