| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-32-50-2 |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 雙級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 臥式減速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 23 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
一般業(yè)界已使用垂直度極佳，harmonic金屬光阻諧波CSF-32-50-2A-GR然而價(jià)格極昂之干蝕刻機(jī)來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題(價(jià)昂是因?yàn)橐玫胶戎磻?yīng)氣體，所有管路都要考慮防腐蝕)。但學(xué)術(shù)研發(fā)單位，在沒(méi)有干蝕刻機(jī)情況下，一樣可以作出次微米之金屬線，這個(gè)方法稱為「金屬剝離或舉離法」(lift-off)。
調(diào)整芯片鍍金屬與上光阻的順序：首先旋敷光阻，harmonic金屬光阻諧波CSF-32-50-2A-GR以光蝕術(shù)將欲鍍著金屬線路之區(qū)域開出窗口(該光罩恰與酸液蝕刻的光罩明暗相反)，再進(jìn)行金屬鍍著的工作。此時(shí)，大部份金屬可能都鍍著在光阻上。所以金屬鍍著后，只要將芯片浸入丙酮，在光阻遭有機(jī)溶劑harmonic金屬光阻諧波CSF-32-50-2A-GR溶散之際，其上之金屬也跟著被抬離芯片，而只留下沒(méi)有光阻，也就是原來(lái)設(shè)計(jì)之金屬線路。
