詳細(xì)參數(shù) | |||
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品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-14-50-2UJ |
類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 單級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 立式加速器 |
傳動(dòng)布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 變速機(jī) |
輸入轉(zhuǎn)速 | 3000rpm | 額定功率 | 360kw |
輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
使用范圍 | 化工 | 減速比 | 456 |
產(chǎn)地 | 日本 |
包括硅片清洗、脫水烘培、硅片成底膜三個(gè)步驟。氣相成底膜采用濕法清洗和去離子水沖洗以去除玷污物,通過脫水烘培去除水汽,然后馬上用六甲基二硅烷(HMDS)進(jìn)行成底膜處理,harmonic自動(dòng)化軌道諧波CSF-14-50-2UJ它起到提高粘附力的作用。成底膜過程通常在如示自動(dòng)化軌道系統(tǒng)上與其他工藝按順序完成。
2.旋轉(zhuǎn)涂膠
光刻膠最基本的組成是有機(jī)溶劑中的harmonic自動(dòng)化軌道諧波CSF-14-50-2UJ一種聚合物溶液。光刻膠的物理特性包括分辨率、對(duì)比度、敏感度、粘滯性、粘附性、抗蝕性、表面張力、存儲(chǔ)與傳送特性、玷污和顆粒控制等。光刻膠主要有兩個(gè)作用:將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上,在后續(xù)工藝中保護(hù)下面的材料。harmonic自動(dòng)化軌道諧波CSF-14-50-2UJ光刻膠適合于旋轉(zhuǎn)涂膠,硅片會(huì)持續(xù)旋轉(zhuǎn)涂膠直到硅片表面形成一層薄膜。