| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSF-14-50-2UJ |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 立式加速器 |
| 傳動布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 硬齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉速 | 3000rpm | 額定功率 | 111kw |
| 輸出轉速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 46 |
| 產地 | 日本 | ||
光刻膠涂覆方法的四個基本步驟分別為滴膠、旋轉鋪開、哈默納科旋轉硅片諧波CSF-14-50-2UJ旋轉甩掉多余膠、溶劑揮發(fā)。
硅片上光刻膠涂膠的厚度和均勻性是非常關鍵的質量參數(shù)。光刻膠涂覆過程中主要技術參數(shù)為：滴膠量，約1~3CC；成膜厚度約1微米左右，哈默納科旋轉硅片諧波CSF-14-50-2UJ厚度變化20-50?。光刻膠涂敷系統(tǒng)組成如所示，硅片吸附在真空吸盤上，真空吸盤可繞Z軸旋轉，噴嘴可沿X、Y、Z移動，圍繞Z旋轉。噴嘴沿硅片徑向分滴光刻膠，這哈默納科旋轉硅片諧波CSF-14-50-2UJ樣光刻膠就可以均勻噴涂在硅片表面上。光刻膠涂覆后，在硅片邊緣的正反兩面都會有光刻膠的堆積。
