| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-25-160-2A-G |
| 類(lèi)型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強(qiáng)沖擊載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 雙級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 臥式減速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 擺線式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 變速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 960rpm | 額定功率 | 360kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 50rpm | 許用扭矩 | 691N.m |
| 使用范圍 | 化工 | 減速比 | 46 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
現(xiàn)在生產(chǎn)線上顯影液涂覆方法主要有兩種：日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR連續(xù)噴霧顯影和旋轉(zhuǎn)浸沒(méi)顯影。光刻膠顯影過(guò)程需要控制的主要工藝技術(shù)參數(shù)包括：顯影溫度、顯影時(shí)間、顯影液量、當(dāng)量濃度、清洗、排風(fēng)。
顯影后的熱烘培稱(chēng)為堅(jiān)日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR膜烘培，目的是蒸發(fā)掉硅片光刻膠中剩余溶劑，從而使光刻膠變硬，提高光刻膠與硅片的粘附性。堅(jiān)膜過(guò)程也可以蒸發(fā)掉殘余在硅片上的顯影液和清洗用水。堅(jiān)日本HD產(chǎn)線傳送諧波CSF-25-160-2A-GR膜過(guò)程通常在硅片軌道系統(tǒng)的熱板上，或在生產(chǎn)線上的專(zhuān)用爐中完成。堅(jiān)膜溫度大致為：正膠130℃，負(fù)膠150℃。
