氣體繁多,性質各異,因此,氣體傳感器也很多。按待檢氣體性質可分為:用于易燃易爆氣體傳感器,如氫氣、一氧碳、瓦斯、汽油揮發(fā)氣等;用于有毒氣體傳感器,如氣、硫氫、砷烷等;用于工業(yè)氣體傳感器,如煉鋼爐中氧氣、熱處理爐中二氧碳;用于大氣污染傳感器,如形成雨NOx、CH4、O3,家庭污染如醛等。按氣體傳感器還可分為干式和濕式兩類;按傳感器輸出可分為電阻式和阻式兩類;按院里可分為電學法、電氣法、光學法、學法幾類。
SnO2薄膜氣敏器件因具有良穩(wěn)定性、能在較低溫度下、檢驗氣體多、工藝成熟等,是主流。此外,Fe2O3也是廣泛和材料。除傳統(tǒng)SnO、SnO2和Fe2O3三大類外,又一批新型材料,包括單一金屬氧物材料、復合金屬氧物材料以混合金屬氧物材料。這些新型材料和,大大提高氣體傳感器特性和。
還有采用絲網印刷工藝制成厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,容易,方便,便于批量生產。
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