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量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體，要及時換油，必要時請洗油箱。有些泵，在級間氣道里會沉積泵液，為取得好的換油效果，要設(shè)法把沉積泵液排出。極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計測量的。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計等全壓力計測量時，測得值會增加。注意熱偶真空計的規(guī)管要配對校準(zhǔn)。建議備用一只同時校準(zhǔn)的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時進(jìn)行對比。極限壓力升高會使高真空時段的抽氣效率下降，也會使極限全壓力
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真空泵不能正常啟動原因
1、電源問題：電源線接觸不良、電源開關(guān)故障、電源線路故障或供電不足可能導(dǎo)致真空泵無法啟動。
2、電機(jī)故障：電機(jī)故障、電機(jī)繞組短路或開路、電機(jī)軸承損壞等問題可能引起真空泵無法啟動。
3、控制系統(tǒng)故障：控制系統(tǒng)中的繼電器、開關(guān)或接線故障可能導(dǎo)致真空泵無法正常啟動。
4、閥門問題：如果真空泵有相關(guān)的閥門控制系統(tǒng)，閥門故障可能影響其啟動。
5、環(huán)境因素：過載、過熱或工作環(huán)境溫度過高可能導(dǎo)致真空泵無法啟動。
6、電路故障：電路板故障、連接線路短路或斷路等問題可能導(dǎo)致真空泵無法啟動。
干式半導(dǎo)體泵，干式渦旋真空泵和旋轉(zhuǎn)活塞泵?；氐巾敳糠治鰞x器高性能真空泵對分析儀器的需求比以往任何時候都大。電子顯微鏡（SEM，TEM），聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）
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真空泵不能正常啟動維修方法
1、檢查電源供應(yīng): 確保電源線連接牢固，電源開關(guān)打開，并且電源供應(yīng)正常。檢查電源線路和插座，排除電源問題。
2、檢查電機(jī): 檢查真空泵電機(jī)是否存在故障，例如是否會發(fā)出異常響聲或過熱。檢查電機(jī)的零部件，如繞組和軸承，以確保其完好。
3、檢查控制系統(tǒng): 檢查控制系統(tǒng)中的繼電器、開關(guān)和控制面板，確保連接正常，元件無損壞。
4、環(huán)境檢查: 確保真空泵工作環(huán)境溫度適宜，及時排除過熱、過載等因素對正常啟動的影響。
5、檢查閥門: 如果存在相關(guān)的閥門控制系統(tǒng)，檢查閥門是否處于正確的位置，不會影響正常啟動。
6、檢查電路: 檢查真空泵的電路板和連接線路，排除可能的短路、斷路或接觸不良等問題。
7、維修或更換故障部件: 根據(jù)發(fā)現(xiàn)的問題，逐一修復(fù)或更換出現(xiàn)故障的部件。可能需要更換電機(jī)、繼電器、開關(guān)等配件。
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(站內(nèi)聯(lián)系TA)一般進(jìn)口分子泵的極限真空在10-7Pa，不可能使腔室抽到10-8Pa，你說“另外還配了一個離子泵，一個低溫吸附泵和一個鈦升華泵”是指這臺設(shè)備上同時還有這些泵嗎？美麗人生8257(站內(nèi)聯(lián)系TA)可以買中科科儀的，我們實驗室就是，買的時候注意轉(zhuǎn)數(shù)lqllinqiaoli(站內(nèi)聯(lián)系TA)看你的腔體大小來配備你分子泵的抽速和所能達(dá)到的真空wangpo(站內(nèi)聯(lián)系TA)如果真空要求在10-6P
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