低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時(shí)，氣體分子被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體有機(jī)廢氣處理解決方案。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。低溫等離子體空氣凈化設(shè)備能夠治理的污染有：VOCs、惡臭氣體、異味氣體、油煙、粉塵，也可用于消毒殺菌，而是對(duì)于濃度比較高的廢氣類型處理效果有一定局限性的有機(jī)廢氣處理解決方案。
根據(jù)實(shí)際工況，可采用UV光解催化氧化、等離子或納米微氣泡+活性碳吸附或通過多層化學(xué)吸附水洗塔組合使用有機(jī)廢氣處理解決方案，成為有機(jī)廢氣處理設(shè)備組合的有機(jī)廢氣處理解決方案，從而達(dá)到VOCs廢氣粉塵綜合治理的目的的有機(jī)廢氣處理解決方案。