ERT光譜共焦傳感器技術(shù)詳解
光譜共焦傳感器既可以在工業(yè)環(huán)境中實(shí)現(xiàn)在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中在線檢測，也可以在實(shí)驗(yàn)室中用作高精密儀器。其主要應(yīng)用有：
1. 顯微成像（測試樣品形貌）
2. 維度控制（測試工業(yè)產(chǎn)品的某些特征是否符合標(biāo)準(zhǔn)）
3. 品質(zhì)管理（對工業(yè)產(chǎn)品缺陷的識別和標(biāo)記）
4.粗糙度測量（測量樣品表面的統(tǒng)計(jì)特征）
5.摩擦學(xué)（機(jī)械侵蝕和化學(xué)腐蝕特性）
6. 厚度測量
光譜共焦傳感器完全和關(guān)于表面紋理的3D測量和分析的ISO25178標(biāo)準(zhǔn)兼容。此外，這個標(biāo)準(zhǔn)的601部分，專用來講述關(guān)于非接觸式測量的，引用CCI（色散共焦成像）作為第一參考技術(shù)。
光譜共焦傳感器可以測量幾乎任何類型材料（玻璃，陶瓷，塑料，半導(dǎo)體，金屬，紡織品，紙，皮革……）制成的樣品。能夠測量拋光表面（鏡子，鏡頭，晶片）也能測量粗糙表面。
1. 測頭的光學(xué)特性，特別是光斑尺寸，軸向分辨率和最大傾角應(yīng)該和被測量樣品呈現(xiàn)的尺寸，傾角相合適。
2. 金屬物體應(yīng)該用CL1或者CL2測頭測量，特別是測量粗糙度時或者實(shí)際應(yīng)用需要高的分辨率。
當(dāng)用光斑更大些的測頭測量金屬物體時，它的測量可能達(dá)不到規(guī)定。精度下降多少取決于金屬表面的微觀結(jié)構(gòu)。
3. 測量模式
光譜共焦傳感器有兩個測量模式： 位移 和 厚度 。
CCS-100的主要測量模式是位移模式。
傳感器就是在這個模式下校準(zhǔn)和測試的。一份帶有證明測試結(jié)果的校準(zhǔn)證書和傳感器一起交付使用。
