非電阻型也是一類較為常見半導(dǎo)體氣敏器件,這類器件方便,無需設(shè)置溫度,易于集成,得到廣泛。有結(jié)型和MOSFET型兩種。
1、靈敏度
由不同原子構(gòu)成分子會有獨特振動、轉(zhuǎn)動頻率,當其受到相同頻率紅外線照射時就會發(fā)生紅外吸收,從而引起紅外光強變,通過測量紅外線強度變就測得氣體濃度;是振動、轉(zhuǎn)動是兩種不同運動形態(tài),這兩種運動形態(tài)會對應(yīng)不同紅外吸收峰,振動和轉(zhuǎn)動本身也有多性;因此下氣體分子會有多個紅外吸收峰;
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